薄膜制备

电子束蒸发
脉冲激光沉积
PVD
磁控溅射
磁控溅射

物性表征

低温光电扫描平台(4T~RK)
探针台
压电测试平台(d33,d31))
牛津磁体
综合物性测量系统

纳米加工

光刻机
二维转移台

样品处理

箱式炉
管式炉
抛光机
切割机
绑线机
等离子体清洗机
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